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應(yīng)力檢測儀的幾種測量方法
點(diǎn)擊次數(shù):2115 更新時(shí)間:2016-09-08
   應(yīng)力檢測儀是一種無損檢測應(yīng)力情況的機(jī)器,便于人們在生產(chǎn)過程中更直觀的判別樣品的應(yīng)力情況。做好分析應(yīng)力的情況,數(shù)字萬用表品牌更好的改進(jìn)生產(chǎn)工藝,做出更好的產(chǎn)品。應(yīng)力檢測儀的操作簡便易學(xué),機(jī)器性能一般可以穩(wěn)定維持3-5年。
  應(yīng)力檢測儀的測量方法:
  1.標(biāo)準(zhǔn)測量
  標(biāo)準(zhǔn)測量方法采集樣品3個(gè)方向的應(yīng)力值(0°60°120°),zui終得出應(yīng)力大小,標(biāo)準(zhǔn)測量方法的測量精度zui高,測量范圍在0~74nm,是日常的檢測的常用方法。
  特點(diǎn):測量時(shí)間較短,單次測量一般小于30s,結(jié)果中會同時(shí)給出樣品應(yīng)力的大小及方向。
  2.單方向測量
  在測量時(shí),應(yīng)力檢測儀只采集單一方向應(yīng)力值,即偏振方向是固定的,默認(rèn)值0°(即為圖像中45°傾斜方向),并且可以自定義偏振角方向,zui后得出在該方向上的應(yīng)力分布。
  特點(diǎn):使用單方向測量方法得出測量結(jié)果中可以觀察到光延遲的正/負(fù)值,或者可以理解為應(yīng)力是來自樣品自身的張力還是外界造成的壓力。
  3.多方向測量
  在多方向測量中,應(yīng)力檢測儀采集的是六個(gè)方向的應(yīng)力值(0°,15°,30°,…75°),通過計(jì)算得出zui后的應(yīng)力大小。多方向測量方法的測量范圍要大于標(biāo)準(zhǔn)測量方法,在標(biāo)準(zhǔn)測量方法中,當(dāng)光延遲大于74nm時(shí),測試結(jié)果的圖像中會觀察到白線圈出的紅色區(qū)域出現(xiàn),這時(shí)需要使用多方向測量方法進(jìn)行測量,測量范圍0~295nm。
  注意:在多方向測量結(jié)果中,并不能地給出測試樣品的應(yīng)力方向,并且會降低測量精度,增加測量時(shí)間。
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